壓模機
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規格介紹:
壓模機 Auto-Mold System
規格介紹:壓模機 Auto-Mold System
《特色》
．壓機數量 2 ~ 5組 (60~200ton)
．IAI電動缸移載機構控制
．高速的傳送機構 (Linear motor)
．自動生產中未使用之壓機可單獨手動操作
．Machine Time 15 sec ~ 19 sec
．基板尺寸: 80mm x 280mm
．(200 ton 設備可達110mm x 310mm)
詳細介紹:
NFT Across 2byX series [採用高速移載線性馬達]
可以對應多種產品型號，帶有一體式壓力機，可短時間轉換到其他類型，通過採用中心轉盤，簡化驅動部分並實現高效佈局。
NFT具備模具開發/模流分析/零件製作/問題解析等優異能力，擁有近40年的豐富經驗。
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Full Auto Wafer Protection Tape Applicator 晶圓載台可做溫控設定及噴塗抗靜電鐵氟龍處理。可選擇膠膜貼合方式滾輪或氣囊，膜料卷可快速更換，準確的Alignment CCD圖形識別對位 《作業方式》 步驟一：將 12吋 FOUP 放置於 Load Port 上，各膜料安裝至指定位置後開始作業。 步驟二：Load Port 開蓋，完成 Mapping 掃描。機械手臂將第一片晶圓從晶圓盒取出， 置於尋邊對位載台上開始進行尋邊校正。機械手臂再將第二片取出放置於暫存牙叉上。 步驟三：機械手臂將已完成校正晶圓取至貼膜平台。貼膜平台上升至貼膜作業位置。 同時暫存區移載機構將第二片晶圓移載至尋邊對位載台上進行尋邊校正。 機械手臂使用快換裝置，將牙叉放置於牙叉放置位，至切刀預熱區取切割刀。 步驟四：貼膜滾輪將膠膜貼附至晶圓上。 步驟五：機械手臂將切割刀對晶圓邊緣切割膜料，切割完成後機械手臂離開貼膜區。 機械手臂使用快換裝置將切割刀放回預熱區，至牙叉放置區取牙叉。貼膜平台下降至進出交握位。 步驟六：機械手臂將已完成貼膜晶圓取回 FOUP。 步驟七：機械手臂再從晶圓盒取出第三片晶圓放置暫存牙叉上。 《持續重複步驟三~步驟七》 清刃作業：機械手臂將刀由預熱區取至清刃位，完成清刃後放回切刀預熱區。 《機台特性》 ．切刀預熱功能 膠膜切割刀刃：最高可預熱至 200度 ．切刀清潔功能 切割刀刃清潔 ．平台加熱功能 貼膜載台：晶圓載台溫控，最高 110度 ．平台抗沾黏 晶圓載台噴塗抗靜電鐵氟龍 ．滾輪加熱功能 膠膜貼合滾輪︰滾輪溫控最高 110度、滾輪下壓力調整 ．快速換膜系統 氣壓式膠卷固定，膜料卷可快速更換 ．靜電消除裝置 靜電消除裝置 ．系統監控 SECS ∕ GEM ∕ E84 通訊
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